Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1981/D19811103Elc057.shtml

Как добавить тест-структуры в ИС

Растущие требования к качеству и надежности повысили значение использования тест-структур, или тест-полосок, на стадиях проектирования и серийного изготовления ИС. Отдел электронных приборов Национального бюро стандартов опубликовал два руководящих документа, оговаривающих предпочтительные виды тест-структур для вновь разрабатываемых микроэлектронных приборов. В документе NBS-12 определяется топологическая конфигурация для тест-структур мостового типа, предназначенных для проверки поверхностного сопротивления. Документ NBS-24 содержит разнообразные предварительные рекомендации по реализации в ИС диодных электрометрических структур, а также несколько вариантов структур, позволяющих измерять параметры по постоянному току у полевых МОП транзисторов. Оба этих документа под общим названием «Тест-структуры для микроэлектронных приборов» можно получить в Национальной службе технической информации (Спрингфилд, шт.Виргиния), предварительно уплатив 6,50 долл.

Джерри Лаймен

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 54, No.22 (627), 1981г - пер. с англ. М.: Мир, 1981, стр.73

Electronics Vol.54 No.22 November 3, 1980 A McGraw-Hill Publication

Раздел: МЕТОДЫ, СХЕМЫ, АППАРАТУРА

Тема:     В блокнот инженера





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1981/D19811103Elc057.shtml