Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1984/D19840419Elc021.shtml

Развитие и совершенствование испытательного оборудования для СБИС

УДК 621.317.799:621.3.049.771.14.001.4

Говард Бирмен (Howard Bierman)
Редакция Electronics

Howard Bierman. VLSI test gear keeps pace with chip advances, pp.125—128.

Совершенствование испытательного оборудования для БИС и СБИС успешно обеспечивает решение задачи испытаний схем с повышенным быстродействием и увеличенным числом внешних контактов. В статье рассмотрено современное состояние технических и программных средств для испытательных систем и обозначены направления их дальнейшего развития и совершенствования, которые должны позволить этим системам «идти в ногу» с непрерывно развивающимися и увеличивающимися по сложности кристаллами СБИС.

Главные показатели испытательных систем для сверхбольших интегральных схем (СБИС), над повышением которых работают конструкторы, — это быстродействие при испытаниях, количество внешних контактов испытываемых приборов и производительность систем. Для матричных БИС на усовершенствованных Шотки/ТТЛ- и ЭСЛ-схемах испытания требуется проводить при тактовых частотах 50 МГц и выше; с ростом количества вентилей на кристаллах увеличивается число внешних контактов БИС; а так как производительность испытаний определяется количеством функциональных тестов, необходимых для проверки логики, то с ростом уровня интеграции увеличиваются и полные времена испытаний кристаллов. В соответствии с этими требованиями оказывается необходимым дальнейшее значительное повышение технического уровня и возможностей испытательных систем для БИС и СБИС.

Современные тестеры для СБИС могут обслуживать каналы для схем, содержащих до 300 внешних контактов, обеспечивают выполнение сложных многоуровневых процедур функциональных испытаний и имеют средства сопряжения с аппаратурой автоматизированного проектирования и автоматизированного тестирования. Так как главная функция тестера для СБИС — это испытания специальными кодами во временной области, то параметры временных диаграмм различных сигналов в них можно задавать с высокой точностью (свыше 1 нс). Временные параметры сигналов задаются программным способом, и их можно менять в реальном времени при переходе от одного испытательного цикла к следующему при максимальных частотах повторения циклов до 100 МГц.

Быстро развивающаяся область

В настоящее время тестеры для СБИС развиваются и совершенствуются чрезвычайно высокими темпами как по техническим показателям, так и по номенклатуре — такими же темпами, что и сами кристаллы, для испытаний которых они предназначены. Вместе с настоящей обзорной статьей, в которой речь идет о главных разработчиках и изготовителях этой аппаратуры, в номере помещены еще две статьи по данной тематике. В первой из них Юджин Гнатек из фирмы Viking Laboratories Inc. (Маунтин-Вью, шт.Калифорния) обрисовывает сегодняшние направления развития техники и технологии тестеров для СБИС. Во второй статье Дин Джонсон из объединения аналоговых испытательных систем компании Fairchild Camera & Instruments Corp. (Сан-Хосе, шт.Калифорния) рассматривает одно из возможных решений проблемы испытаний высокопроизводительных кристаллов СБИС, в которых обрабатываются как аналоговые, так и цифровые сигналы.

Как следует из этих статей, в новом поколении цифровых испытательных систем главное внимание уделяется решению такой все более актуальной проблемы, как проектирование с обеспечением тестируемости (design-for-testability). Одна цель создания методов проектирования с обеспечением тестируемости — это сокращение временных затрат на программирование и испытания; другая цель — это органичение стремительного роста стоимости и продолжительности испытаний СБИС. Выпускаемые в настоящее время тестеры цифровых СБИС имеют традиционную архитектуру с разделяемыми ресурсами — это относится к оборудованию, поставляемому компаниями Tektronix Inc., Cybernetics Technology Inc., GenRad Semiconductor Test Inc., Teradyne Inc., отделением цифровых испытаний компания Fairchild и компаниями Takeda-Riken America Inc. и Ando Corp. Однако осенью 1983г. на Международной конференции по испытаниям компания Megatest Corp. предложила новую архитектуру с поконтактными наборами ресурсов. В таблице приведены для сравнения главные технические характеристики восьми ведущих тестеров СБИС.

В типовой архитектуре с разделяемыми ресурсами (рис.1,а) имеются главный тактовый генератор и набор генераторов синхронизации (обычно их менее 20), за которыми следует сложная коммутационная матрица, распределяющая сигналы синхронизации на устройства задания формата сигналов. Далее идут формирователи и компараторы схем контактной электроники. При испытаниях ИС с большим количеством внешних контактов сигналы синхронизации передаются через коммутационную матрицу по многим различным цепям, поэтому для различных комбинаций входных/выходных контактов ИС задержки этих сигналов в матрице получаются разными (рассогласованными). Это затрудняет калибровку или компенсацию временных погрешностей в системе. Другой серьезный недостаток архитектуры с разделяемыми ресурсами — большое время программирования, необходимое для организации разводки сигналов синхронизации через коммутационную матрицу.


Рис.1. Тестеры СБИС с традиционной архитектурой (а) используют ограниченное количество генераторов синхронизации, выходные сигналы которых через сложную коммутирующую сеть попадают на контакты испытываемого кристалла ИС. Напротив, в тестере с поконтактными наборами ресурсов (б) каждый из контактов испытательной головки оснащен своими собственными ресурсами.

Непосредственная организация предусматривает оснащение каждого контакта испытываемого кристалла собственными испытательными ресурсами, т.е. создание архитектуры с поконтактными ресурсами (рис.1,б). Здесь на каждом контакте имеются программируемый быстродействующий генератор синхронизации, схема задания формы сигналов, блок измерения статических пераметров, контактный формирователь, контактный компаратор и нагрузка с программируемой величиной тока. В такой системе не требуется коммутация сигналов синхронизации, что обеспечивает более высокую точность. Кроме того, программное обеспечение этой системы проще само по себе и его проще разрабатывать, а модульная структура с поконтактными испытательными узлами позволяет достаточно легко и просто вводить в систему дополнительные контактные секции для увеличения максимального количества контактов у испытываемых приборов. Очевидно, что системы с разделяемыми ресурсами стоят дешевле, так как содержат меньший объем аппаратных средств, однако с ростом сложности испытываемых кристаллов архитектура с поконтактными ресурсами представляется все более привлекательной.

Встроенные средства тестирования, выполняемые в составе схемных кристаллов, появились как действенный способ повышения эффективности испытаний СБИС. Их наличие необходимо будет учитывать при создании всех последующих новых поколений испытательных систем. Эти средства известны под разными названиями— тракты сканирования, цепи последовательного сканирования и последовательные сдвиговые регистры. Они предусматривают такое преобразование логической структуры ИС, при которой ее выходная реакция уже не зависит ни от порядка поступления входных сигналов, ни от схемных задержек между логическими элементами. В результате такого преобразования ИС из последовательностной схемы с состоянием, зависящим от времени, превращается к комбинационную схему. Главное преимущество данного подхода состоит в том, что комбинационные схемы можно анализировать с помощью таблиц истинности (с последовательностными схемами этого делать нельзя), а сами таблицы истинности можно быстро и эффективно генерировать с помощью больших универсальных компьютеров. Расход площади кристалла для размещения этих дополнительных испытательных схем составляет примерно 20%, зато метод последовательного сканирования позволяет проверять более 98% всех схем, входящих в состав кристалла.

Современная испытательная аппаратура

Тестер СБИС Viking 209 компании Cybernetics Technology обладает на уровне тестовых операндов быстродействием 100 МГц. Столь высокий показатель достигнут благодаря применению компьютера с быстродействующей архитектурой и предоставленной компанией Control Data Corp. технологии производства систем. Тестер Viking 200, который компания Cybernetics (Иден-Прейри, шт.Миннесота) должна начать поставлять в конце осени 1984г., рассчитан на работу со схемами с количеством контактов ВВ до 256 и тактовой частотой до 100 МГц; при использовании мультиплексирования эту частоту можно будет увеличивать до 200 МГц, получая возможность исследовать характеристики ЭСЛ-схем. Для выполнения производственных испытаний компания завершает подготовку производства 50-МГц тестера Viking 100, который будет иметь шаг регулирования временных параметров 20 пс и точность измерений 1 пс и позволит работать со схемами с количеством внешних контактов до 128. Как показано на рис.2, тестеры семейства Viking состоят из трех основных секций: системного управляющего компьютера; локальной сети,, служащей соединительной тестовой шиной, и одной или нескольких испытательных станций. Системный контроллер, в качестве которого используется компьютер VAX-11/730 или VAX-11/780 компании Digital Equipment Corp., выполняет управление данными, организацию связи, реализацию программирования испытаний и хранение тест-программ, передаваемых на испытательные станции по локальной сети. Помимо этого, системный контроллер выполняет анализ данных, получаемых в качестве результатов испытаний. Второй уровень компьютерного управления реализован в каждой испытательной станции, позволяя ей работать независимо от системного контроллера после загрузки в станцию соответствующих тест-программ. Так как для различных классов ИС требуются различные уровни сигналов и импедансов, то секция контактной электроники в каждой из испытательных станций обеспечивает формирование высоких напряжений для ТТЛ-схем и униполярных МОП-схем и низких напряжений для биполярных ЭСЛ-схем. Для повышения скорости и надежности испытаний вместо механических реле используются электронные переключатели.

Компьютер VAX-11/730 компании DEC обеспечивает управление данными и организацию связи и хранения тест-программ, которые перед началом работы загружают
Рис.2. Компьютер VAX-11/730 компании DEC обеспечивает управление данными и организацию связи и хранения тест-программ, которые перед началом работы загружаются в станции испытательной системы Viking 200. 10-МГц локальная сеть системы позволяет размещать свыше 100 абонентских пунктов вдоль линии связи длиной 1,6 км.

Программирование испытательных станций можно выполнять на нескольких языках, так что пользователь может выбрать знакомый ему язык или тот язык, который более всего подходит для данного приложения. Общий интерфейс позволяет выполнять вызов процедуры, написанной на одном языке программирования, из программы, написанной на другом языке. В число языков станций входят Атлас (Atlas — Abbreviated Test Language for All Systems — сокращенный язык испытаний для всех систем), Паскаль, Фортран и КТАС (CTAS — Comprehensive Tester Application Software — полный комплект прикладных программ для тестеров). Последний язык позволяет малоквалифицированным программистам создавать дополнительные тестовые последовательности на любом из имеющихся в станции языков, а при необходимости менять порядок следования тест-последовательностей и модифицировать тестовые параметры и характеристики.

Тестер S-3295 компании Tektronix (Бивертон, шт.Орегон) представляет собой систему для испытаний СБИС с тактовой частотой 20 или 40 МГц, имеющих до 256 внешних контактов. Система содержит 128 входных и 128 выходных контактов, которые можно попарно объединять в контакты ВВ. Чтобы обеспечить ее работу со всеми видами логических схем, в состав плат контактной электроники включены средства для испытаний как МОП, ТТЛ и ЭСЛ ИС, так и гибридных кристаллов, содержащих логические элементы различных типов.

Быстродействующий процессор тест-кодов в системе S-3295 позволяет сжимать функциональные тест-коды и восстанавливать их непосредственно в процессе испытаний, благодаря чему снижаются требования к объему памяти системы; кроме того, в поцикловом режиме в процедуру испытаний можно включать и из нее можно удалять другие наборы тест-кодов. Этот процессор тест-кодов через платы контактной электроники подает тестовые векторы на каждый контакт испытываемой ИС. Каждая плата контактной электроники содержит два входных и два выходных канала и осуществляет переключение ВВ, организацию выходных нагрузок и регистрацию ошибок. Каждый контактный информационный канал платы имеет локальную память емкостью 64К, или 256К на плату.

Так как более быстродействующие ИС обычно имеют меньше внешних контактов по сравнению с относительно медленными схемами, то в системе S-3295 используется метод мультиплексирования каналов, объединяющий потоки данных от двух соседних формирователей одной платы контактной электроники. Хотя при этом количество доступных контактных формирователей уменьшается вдвое, зато в одном тест-цикле на скему можно подать два управляющих импульса и тем самым вдвое увеличить частоту возбуждающих сигналов на контактах испытываемого прибора по сравнению со стандартной тактовой частотой испытательной системы, т.е. поднять ее до 40 МГц.

На выходах испытываемого прибора предусмотрены активные нагрузочные схемы с программируемой величиной тока, позволяющие испытывать ИС при воздействии реальных рабочих напряжений и токов. При испытаниях ЭСЛ-кристаллов на их выходы подключаются согласующие оконечные 50-Ом резисторы, а нагрузки с программируемыми токами отключаются.

Погрешности синхронизации, т.е. временные сдвиги между сигналами, которые на самом деле должны совпадать во времени, представляют собой результат влияния задержек в схемах и в соединительных кабелях, а также паразитных емкостей в цепях распространения сигналов. Для устранения этого недостатка в тестере S-3295 используются специальные таблицы, в которых хранятся калибровочные данные для корректировки погрешностей синхронизации в каждой из контактных плат; в результате взаимные временные погрешности синхронизации различных контактных формирователей и компараторов получаются всего порядка 500 пс. Для испытаний кристаллов с последовательными сканирующими регистрами в тестере S-3295 предусмотрен дополнительный генератор тест-кодов с собственной последовательной памятью емкостью 3 Мбит (по 1 Мбит на сигналы возбуждения, сигналы управления сравнением и сигналы маскирования).

Поставщики оборудования для испытаний СБИС

Фирма-изготовитель

Модель

Максимальное быстродей ствие, МГц

Максимальное количество контактов

Точность временных параметров, пс

Разрешающая способность по временным параметрам, пс

Предполагаемая цена, млн. долл.

Cybernetics

Viking 100

50

128

20

 

0,5—0,9

Viking 200

100

256

20

1

0,9—1,9

GenRad

GR-18

40

288

900

125

0,9—2,2

Takeda-Riken

3340

40

256

800

125

0,8—2,2

Tektronix

S-3295

40

128

500

100

0,8—1,3

Teradyne

J 941

40

96

1000

100

0,6—1,2

Megatest

Mega One

40

256

700

100

1,2—2,7

Ando

DIC 8035B

40

256

500

100

1—1,6

Fairchild

Sentry 50

50

256

600

40

0,85—2

Независимые ресурсы

Новый смелый подход к решению задачи испытаний СБИС, избранный специалистами компании Mega test Corp. (Сан-Хосе, шт.Калифорния), предусматривает независимые ресурсы на каждом контакте испытываемого прибора, а не общепринятое разделение ресурсов, на основе которого построены традиционные тестеры. Критики подхода компании Megatest утверждают, что стоимость оборудования в этом случае становится неприемлемо высокой, и говорят, что архитектура с такими поконтактными ресурсами есть аналог концепции «гарантированного многократного уничтожения противника». Однако сторонники этого подхода указывают на значительное снижение стоимости разработки программных средств и, что еще важнее, на значительное сокращение сроков разработки и отладки тест-программ, благодаря которому можно сократить сроки выпуска на рынок новых высококачественных кристаллов СБИС.

Для испытаний логической ИС система Mega One1{Электроника, 1983, №18, с.25} подает на нее сигналы, имитирующие те напряжения, токи, временные характеристики сигналов и логические состояния, воздействию которых схема должна подвергаться в предполагаемых приложениях. Затем система сравнивает выходные сигналы схемы с их значениями, предсказываемыми разработчиками. В архитектуре с разделяемыми ресурсами используются генераторы синхронизации, выходные сигналы которых через коммутационную матрицу разводятся на заданные контакты испытываемого прибора, где схемы формирования вырабатывают нужные испытательные сигналы для каждого из контактов ИС. Для приборов с малым числом контактов архитектура с разделяемыми ресурсами действительно очень эффективна; для СБИС с большим числом внешних контактов разработчику тест-программ приходится очень сильно ломать голову над такими чисто аппаратными вопросами, как коммутация контактов реле, времена установления сигналов и трассировка сигнальных цепей. Кроме того, с ростом сложности коммутационной матрицы становится все труднее и дороже корректировать погрешности синхронизации.

В системе Mega One компании Megatest для каждого контакта испытываемого прибора предусмотрены собственный программируемый генератор синхронизации, схема задания формата сигналов, блок измерения статических параметров, контактный формирователь, контактный компаратор и нагрузка с программируемым током. Единственный быстродействующий сигнал, распределяемый по данной испытательной системе, — это системный сигнал тактовой синхронизации, который подается на все секции в параллель без помощи коммутационной матрицы.

Таким образом, сигнальные цепи оказываются короткими и специализированными, что позволяет выполнять индивидуальную предварительную калибровку для каждого контакта. Так как каждый контакт оснащен своим собственным независимым набором ресурсов, то на таком принципе оказывается возможным строить испытательные системы с общим количеством контактов до 512. Параметры синхронизации и формы сигналов можно менять прямо в ходе испытаний с тактовой частотой 40 МГц. Тестер может работать с тактовой частотой 40 МГц для сигналов на любом из 256 контактов и с частотой 80 МГц на заранее указанных контактах. Программное обеспечение выполнено с ориентацией на ОС Unix 4.2 компании AT&T Bell Laboratories, а сами тест-программы пишутся на стандартном Паскале с использованием специальных программ-функций и процедур, поставляемых компанией Megatest.

Новинка

В начале 1984г. компания Fairchild выпустила свой долгожданный тестер Sentry 50 с максимальной тактовой частотой испытаний, равной 50 МГц (100 МГц с мультиплексированием), обслуживающий до 256 контактов ВВ на каждой испытательной станции. Управляет этой системой с распределенной архитектурой компьютер VAX-11/730 с операционной системой VMS; в системе имеются основная оперативная память емкостью до 5 Мбайт и НМД емкостью 121 Мбайт (последнюю цифру можно удвоить, введя в состав системы еще один НМД).

Главная конструктивная особенность системы Sentry 50, разработанной отделением цифровых испытаний этой компании (Сан-Хосе, шт.Калифорния),— это секция локальной памяти, содержащая основное ОЗУ с расслоением емкостью 64К слов и быстродействующее подпрограммное ЗУ емкостью 1К слов. С помощью ЗУ управления параметрами можно из основной памяти передать в подпрограммное ЗУ сразу несколько функциональных параметров. Это ЗУ управления параметрами в поцикловом режиме определяет, в каком виде на данный конкретный контакт должна поступать функциональная информация из подпрограммного ЗУ — как данное-константа или в виде параметра из основного ОЗУ. Подпрограммы можно писать для существенного сжатия области памяти тестовых векторов, требующейся при испытаниях таких приборов с шинной структурой, как микропроцессоры.

В состав тестера Sentry 50 помимо устройства распределенной обработки данных на основе компьютера VAX-11/730 входят контроллеры испытательных головок,
Рис.3. В состав тестера Sentry 50 помимо устройства распределенной обработки данных на основе компьютера VAX-11/730 входят контроллеры испытательных головок, которые представляют собой автономные компьютеры на основе управляющих микропроцессоров типа 68000. Система обслуживает до двух испытательных головок с количеством контактов до 256.

Язык Паскаль/50, который включает в себя язык Паскаль в виде подмножества, представляет собой язык программирования испытаний, на котором можно работать с определяемыми пользователем списками контактов тестера. В системе предусмотрено три метода программирования на Паскале, которые оптимизируют вычислительную нагрузку и уменьшают нагрузку на каналы связи между контроллерами испытательной системы и испытательных головок: пакеты данных, элементные процедуры и списки контактов. Говорят, что эти методы значительно увеличивают производительность — до трех порядков величины. Для испытаний ИС со встроенными средствами тестирования, например со сквозным сдвиговым регистром, предусмотрена вспомогательная память данных последовательного типа. Эта память с изменяемой конфигурацией позволяет генерировать последовательные потоки битов с частотой 59 МГц, и ее работу можно программным путем организовать на один, два, четыре или шесть каналов, скоммутировав каждый из них на любой из контактов тестера.

Обилие конкурентов

Последняя разработка фирмы GenRad в области тестеров для СБИС — это система GR-18, выполненная на основе компьютера PDP-11/44 компании DEC с взятой без каких-либо изменений операционной системой RSX-11M. Эта 40-МГц система фирмы GenRad Semiconductor (Милпитас, шт.Калифорния) — филиала компании GenRad Inc. — может испытывать и выполнять исследования характеристик различных типов ИС, в том числе К/МОП-, ТТЛ- и ЭСЛ-схем,. а также многокристальных модулей, содержащих кристаллы различных типов (например, МОП- и ТТЛ-кристаллы), и гибридных ИС с аналоговыми и цифровыми функциональными блоками. Две испытательные головки тестера позволяют испытывать приборы с общим количеством контактов до 288; сами эти головки могут быть запрограммированы на работу в комбинированном режиме; каждый испытательный контакт оснащен формирователем, компаратором и нагрузкой, которые размещены в самой испытательной головке. В ходе испытаний можно использовать 16 или 12 системных фаз синхронизации, задаваемых с разрешением 125 пс, варьируя их от цикла к циклу.

В состав тестера GR-18 включен генератор последовательных данных для эффективного хранения длинных тест-кодов, используемых для работы с кристаллами со сканирующими регистрами и с шинной организацией. Система интерфейса пользователя предоставляет операторам-испытателям хорошо понятные меню для управления работой системы в различных режимах. Сопряжение с сетью осуществляется с помощью устройства GRnet фирмы GenRad, состоящего из двух коаксиальных линий, которые работают со скоростью 655К байт/с.

Две компании японской принадлежности, специализирующиеся на испытательной аппаратуре, выпускают 40-МГц тестеры для СБИС с числом внешних контактов до 256 — это фирма Takeda-Kiken America (Энглвуд-Клиффс, шт.Нью-Джерси) со своей системой Advantest T3340 и фирма Ando (Сан-Хосе, шт.Калифорния) со своей системой DIC-8035B. В состав системы T3340 входят схемы контактной электроники двух типов — одни для быстродействующих ЭСЛ-кристаллов, другие с высоковольтным формирователем, а также высокоимпедансным компаратором для МОП- и ТТЛ-схем. Четырехуровневая подсистема автоматической калибровки гарантирует точность испытательной системы в пределах 800 пс для быстродействующей испытательной станции и 1,6 нс для станции с повышенными уровнями испытательных напряжений.

Каждый из контактов тестовой головки может работать в любом из 24 возможных режимов формирования с полным контролем формата сигнала, с управлением считыванием сигналов; в реальном времени в пределах всего испытательного цикла (для испытаний микропроцессорных ИС) и с мультиплексированным ВВ (для испытаний ЗУ). Тактовую частоту следования данных можно выбирать в интервале от 1 кГц до 40 МГц с приращением периода 1 нс, а длительность импульса синхронизации можно устанавливать с разрешающей способностью 125 пс. Тактовую частоту и параметры каждого из 32 фазовых тактовых импульсов можно варьировать в процессе испытаний в диапазоне из 16 уровней временных параметров.

Для СБИС со сквозными сдвиговыми регистрами или с тестированием с помощью сканирующего тракта система Т3340 сможет генерировать первичные (primary) тест-коды и векторы сканирования. Испытания выполняются с применением дополнительной сверхбуферной памяти, в которую переписываются участки буферной памяти возбуждающих векторов и векторов ожидаемых состояний. Для хранения первичных кодов во время подачи последовательного тест-кода и испытаний кристалла используется режим фиксации.

40-МГц система DIC-8035B фирмы Ando обладает повышенной производительностью благодаря наличию в ней процессоров для одновременных параллельных испытаний двух кристаллов, средств для одновременного выполнения до восьми измерений статических параметров с помощью аналоговых переключателей и каналов для передачи программ со скоростью 2,75 Мбит/с. Разрешающая способность генератора синхронизации, работающего от базового 500-МГц источника тактовых сигналов, равна 1 нс; длительность тест-циклов регулируется в диапазоне от 1 до 25 нс.

После выпуска своего 40-МГц тестера J941 несколько лет назад компания Teradyne сконцентрировала усилия в области совершенствования программного обеспечения испытаний. Последнее ее дополнение к программе анализа испытаний TAP (Test Analysis Program), разработанной отделением испытаний полупроводниковых приборов (Вудленд-Хиллс, шт.Калифорния), облегчает отладку программ, позволяя отображать содержимое памяти генератора тест-кодов и корректировать тест-программы с помощью развитых средств символического редактирования. Пользователь может просмотреть содержимое памяти тест-кодов в двоичном, восьмеричном или пользовательском форматах и модифицировать заложенные в текст-программу форматы и временные параметры. Программа автоматической синхронизации фронтов сигналов контролирует точность задания временных параметров фронтов и выполняет автоматическую компенсацию погрешностей, обусловленных различными задержками в разных сигнальных каналах.

Дочерние статьи:

Объединение систем автоматизации проектирования и автоматизации тестирования для решения проблемы контроля СБИС

Тестеры для СБИС, позволяющие испытывать комбинированные схемы с аналоговыми и цифровыми сигналами

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 57, No.08 (689), 1984г - пер. с англ. М.: Мир, 1984, стр.24

Electronics Vol.57 No.08 April 19, 1984 A McGraw-Hill Publication

Howard Bierman. VLSI test gear keeps pace with chip advances, pp.125—128.

Раздел: МЕТОДЫ, СХЕМЫ, АППАРАТУРА

Тема:     Техника испытаний СБИС





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:55 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1984/D19840419Elc021.shtml