Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1984/D19841008Elc046.shtml

Один из «отцов» МОП-технологии

Примерно 21 год назад Фрэнк Уонлесс буквально вручную сделал первый работоспособный МОП-транзистор, выцарапав его электроды вольфрамовой проволочкой. В настоящее время он по-прежнему ведет интенсивную работу, направленную на упрочнение позиций МОП-технологии как самой универсальной технологии изготовления полупроводниковых ИС.

В 1963г. МОП-транзисторы были редкой новинкой. Первые схемы, изготовленные компанией RCA Corp. (Нью-Йорк) на сульфиде кадмия и селениде кадмия, были известны прежде всего нестабильностью своих характеристик. Уонлесс, новоиспеченный доктор философии университета шт.Юта (Солт-Лейк-Сити), работал в это время в научно-исследовательской лаборатории компании Fairchild Camera and Instrument Corp. (Маунтин-Вью, шт.Калифорния), пытаясь воспроизвести схемы компании RCA в кремнии, но довольно безуспешно. В компании Fairchild было новейшее по тому времени оборудование для электроннолучевого напыления, и кто-то ухитрился покрыть пластину платиной, не поддававшейся травлению. В отчаянии Уонлесс взял тонкую вольфрамовую проволочку и вручную процарапал нужную конфигурацию схемы — и она заработала.

Воодушевленный, он изготовил несколько схем с алюминиевой металлизацией, которая до этого считалась предполагаемым источником загрязнений, и обнаружил, что эти схемы тоже работают. «Оказалось, что источником загрязнений был натрий, который входил в состав покрытия нитей накала, использовавшихся ранее при напылении,— вспоминает Уонлесс. — Именно натрий был причиной дрейфа характеристик затворных областей приборов. Эта работа стала первым заметным достижением в области МОП-технологии».

Уонлесс говорит, что сразу же стали очевидными возможность изготовления р-канальных приборов и принципиальная возможность изготовления n-канальных приборов. Он начал прорабатывать идею создания комплементарных логических МОП-схем и получил свой первый патент на логическую К/МОП-схему. На первых порах его поддерживал Гордон Мур, его начальник в отделении исследований и разработок компании Fairchild, однако руководство компании — в то время целиком поглощенное созданием биполярных ДТЛ ИС — не проявляло интереса к его работе. Через некоторое время Мур тоже утратил интерес к МОП-приборам, и в конечном итоге Уонлесс начал искать компанию, которую бы его работа заинтересовала. Ирония судьбы, по его мнению, состоит в том, что через пять лет после этого Мур вместе с Робертом М. Нойсом, другим питомцем компании Fairchild, принял участие в организации и финансировании фирмы Intel Corp., все благополучие которой построено именно на МОП-технологии, а компания Fairchild потерпела на этом рынке серьезное поражение.

Одиссея Уонлесса началась несколько неудачно в фирме General Microelectronics (позднее она называлась Philco-Ford Microelectronics), которая споткнулась на проблемах производства калькулятора фирмы Victor. Эта пионерская разработка была основана на первой промышленной МОП БИС — схеме 20-разрядного сдвигового регистра. Фирма Philco-Ford не сумела обеспечить изготовление надежных ИС и в конечном счете вообще прекратила производство ИС как таковых. Уонлесс перешел в компанию General Instrument Corp. (Нью-Йорк), где разработал толстоокисную технологию, которая стала со временем стандартной для отрасли, и нитридную МОП-технологию, благодаря которой МОП-схемы стали непосредственно совместимыми с ТТЛ-схемами.

Впоследствии Уонлесс организовал еще четыре фирмы по производтву МОП-схем, разрабатывая по ходу дела технологические процессы изготовления часовых К/МОП-схем и схем памяти с электрически изменяемой информацией. Он всегда искал пути повышения быстродействия, ориентируясь на те области применения, которые считались исключительной «сферой влияния» биполярных ИС.

На своем последнем месте работы, в фирме Zytrex Corp. (Саннивейл, шт.Калифорния), организованной в 1981г., Уонлесс, по его мнению, достиг, наконец, всего желаемого. Фирма Zytrex делает быстродействующие К/МОП-приборы по технологии с восемью фотолитографическими операциями, разработанной Уонлессом, в виде полных функциональных эквивалентов быстродействующих ТТЛ-схем. Фирма даже рекламирует себя посредством следующих лозунгов: «Кто покончил с Шотки/ТТЛ-схемами?» и «Биполярные схемы повержены во прах». Уонлесс считает, что в настоящее время МОП-схемы в состоянии заменить биполярные в большинстве областей применения. Но после 21 года работы он все же согласен еще немного подождать. «Лагерь сторонников биполярных ИС обладает большой инерцией, — говорит он. — Их не удастся столкнуть с позиций в один момент».

Клиффорд Барни

Родительская статья:

Логические схемы и запоминающие устройства

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 57, No.20 (701), 1984г - пер. с англ. М.: Мир, 1984, стр.71

ElectronicsWeek Vol.57 No.25 October 01, 1984 A McGraw-Hill Publication

ElectronicsWeek Vol.57 No.26 October 08, 1984 A McGraw-Hill Publication

Раздел: МЕТОДЫ, СХЕМЫ, АППАРАТУРА

Тема:     Компоненты





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:55 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1984/D19841008Elc046.shtml