Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1990/A19900125Elc004.shtml

Электрические двигатели в интегральном исполнении выходят за пределы академических лабораторий

В электротехнических лабораториях Калифорнийского университета в Беркли (Сан-Диего, шт.Калифорния) и Массачусетского технологического института (Кеймбридж, шт.Массачусетс) исследователи использовали технологию изготовления ИС для создания совершенно новых микроструктур на кремнии. Один из наиболее новых приборов, которые им удалось создать на кремнии,— это микроминиатюрный электродвигатель.

Новый прибор, названный двигателем с переменной емкостью, изготовлен на слое двуокиси кремния, который обеспечивает его электрическую изоляцию от кремниевой подложки. Двигатель имеет фиксированную ось из нитрида кремния, окруженную (но не связанную механически) плоским поликремниевым ротором, состоящим из втулки с несколькими радиальными крыльями или полюсами.

В отличие от обычных электродвигателей, приводимых в действие электромагнитной силой, микродвигатель запускается электростатической силой. Диаметр ротора обычно составляет около 0,1 мм. Статор состоит из различного числа поликремниевых полюсов, окружающих ротор. Так как число полюсов у ротора и статора неодинаково, между полюсами имеются угловые смещения (см. рисунок).

Импульсы напряжения, генерируемые простыми ИС и прикладываемые к расположенным друг против друга парам полюсов статора, генерируют электростатическую силу, создающую крутящий момент между смещенными полюсами ротора и статора, что вызывает вращение ротора.

Размещение на одном кристалле электродвигателя и управляющих схем экономически выгодно. Среди возможных применений нового электродвигателя следует назвать медицинскую аппаратуру и электромеханические преобразователи.

Однако имеется одна проблема: из-за крошечных размеров электродвигателя и малой величины крутящего момента исследователи не нашли еще эффективный способ соединения ротора с нагрузкой [ED, 1990, No.2, р.26].

Милт Леонард

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 63, No.03 (832), 1990г - пер. с англ. М.: Мир, 1990, стр.6

Electronics Design Vol.38 No.1 January 11, 1990 A Penton Publication

Electronics Design Vol.38 No.2 January 25, 1990 A Penton Publication

Раздел: ОБОЗРЕНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

Тема:     Двигатели





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/Archiv/Elc1990/A19900125Elc004.shtml