Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/AMI/A19830531Elc003.shtml

ПЗУ с имплантацией примеси в канал на заключительной стадии изготовления

Разработан новый метод программирования, позволяющий сократить сроки изготовления и поставки постоянных ЗУ всего до двух недель. Первоначально этот метод был предназначен для поставщиков кассет с телеиграми.

В методе, известном как метод программирования при помощи последнего фотошаблона или на заключительном этапе (после металлизации), собственно программирование выполняется после формирования верхнего слоя соединительной металлизации, а не в середине процесса изготовления прибора. Несколько фирм — иготовителей ПЗУ независимо друг от друга разработали его и будут вскоре поставлять приборы из имеющихся запасов испытанных пластин.

Данный технологический процесс обладает тремя основными преимуществами перед современной технологией. Во-первых, изготовители кристаллов могут заранее создавать у себя складские запасы почти готовых пластин, что позволяет им сразу же выполнять поступающие заказы. Во-вторых, некоторые специалисты считают, что благодаря сокращению времени выполнения заказов до двух недель изготовители электронной аппаратуры, которые сегодня предпочитают более гибкие стираемые ППЗУ, будут иметь стимул для перехода на ПЗУ — последние на 30—50% дешевле. И наконец, возможность провести испытания пластин до занесения в них конкретного заказного кода позволяет изготовителям заранее разделить свою продукцию по группам качественных показателей, дополнительно повысив эффективность производства.

Самые короткие сроки выполнения заказов на сегодняшний день обещает фирма American Microsystems Inc. (Санта-Клара, шт.Калифорния), филиал компании Gould Inc. «В день составления программы вы еще даже не приступаете к изготовлению приборов, а уже через две недели можете отправить заказчику крупную партию вместо обычных четырех — шести недель,— говорит Дик Норби, управляющий маркетингом в объединении приборов памяти. — Первые опытные образцы наших ПЗУ емкостью 256К с программированием после металлизации будут готовы в конце июля 1983г.»

Маска из фоторезиста или полиимида защищает готовую пластину со структурами от имплантируемых с высокой энергией ионов. Эти ионы программируют запомин
Маска из фоторезиста или полиимида защищает готовую пластину со структурами от имплантируемых с высокой энергией ионов. Эти ионы программируют запоминающие элементы ПЗУ в технологии с программированием последним фотошаблоном фирмы Mostek, обеспечивающей быстрое выполнение заказов.

Другие фирмы, возможно, тоже будут к этому времени поставлять такие ПЗУ. «Мы сможем уже во II квартале поставлять опытные партии ПЗУ емкостью 64К и 256К, программируемых последним фотошаблоном»,— говорит Джефф Шлагетер, вице-президент отделения компонентов памяти и филиала компании United Technologies Corp. — фирмы Mostek Corp. (Карролтон, шт.Техас). Сегодняшние минимальные сроки выполнения заказов (4—5 нед) сократятся в результате, этого до 3—4 нед.

Имплантация. Для программирования после металлизации требуется высокоэнергетическая установка ионной имплантации, которая бы загоняла ионы бора сквозь слой изолирующего окисла, поликремниевый затвор и затворный окисел в области каналов транзисторов (см. рисунок). Остальные области защищаются от имплантации ионов маской из фоторезиста или полиимида. После такого программирования выполняется только одна технологическая операция — осаждение заключительного пассивирующего слоя.

«Однако в этом методе есть и свои трудности»,—предупреждает Пейтон Коул, управляющий маркетингом в отделении МОП ЗУ компании Texas Instruments Inc. (Хьюстон). Он беспокоится, что при прохождении имплантируемых ионов с высокими энергиями сквозь затворный окисел последний можно повредить. Его самого, похоже, не волнуют возможные конкуренты с краткими сроками изготовления заказных ПЗУ, хотя в основном компания TI занимается поставками ПЗУ для изготовителей телеигр — по его словам, он и имеют специфические потребности.

Он также уверен, что если рынок ПЗУ с программированием последним фотошаблоном действительно сформируется, то компания TI сумеет ускорить разработку собственного метода их создания.

Помимо изготовителей программного обеспечения для телеигр, новые ПЗУ с малыми сроками выполнения заказов, вероятно, найдут спрос и у некоторых сегодняшних потребителей СППЗУ. Стираемые ППЗУ, которые в свое время были лишь средствами макетирования, сегодня широко применяются в конечных изделиях. Дело здесь в том, что на изменение кода в ПЗУ требуется определенное время, а при подготовке серийного производства новых изделий время чрезвычайно дорого. Например, Шлагетер из фирмы Mostek считает, что к 1986г. приборы, программируемые последним фотошаблоном, захватят половину рынка СППЗУ — суммарный объем их выпуска достигнет примерно 6 триллионов байт [pp.50,51].

Родерик Берисфорд

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 56, No.11 (667), 1983г - пер. с англ. М.: Мир, 1983, стр.5

Electronics Vol.56 No.11 May 31, 1983 A McGraw-Hill Publication

Раздел: ОБОЗРЕНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

Тема:     Запоминающие устройства





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/AMI/A19830531Elc003.shtml