Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/GeneralElectric/D19840628Elc034.shtml

Специальное покрытие, расширяющее возможности оптической литографии

Научные сотрудники центра исследований и разработок фирмы General Electric Co. (Скенектади, шт.Нью-Йорк) предложили способ изготовления ИС следующего поколения с помощью оборудования для оптической литографии нынешнего поколения. По мере того как фирмы — изготовители полупроводниковых приборов приближаются в своих схемах к линиям шириной 1 мкм, проецируемый рисунок схемы становится расплывчатым и малоконтрастным из-за ограниченной разрешающей способности объектива. Нанесение на поверхность полупроводниковой пластины в начале цикла ее обработки предложенного специалистами фирмы GE нового материала для усиления контрастности позволяет преодолеть это ограничение с помощью «осветляющегося» красителя, переходящего из непрозрачного состояния в прозрачное при экспонировании его излучением с длиной волны 388 нм. Когда на пластину, покрытую новым материалом, фокусируется изображение схемы, те участки материала, на которые падает свет наибольшей интенсивности, осветляются в первую очередь и становятся прозрачными. Благодаря этому в материале образуется окно, через которое свет может пройти на фоторезист, находящийся под слоем материала. По существу материал работает как местная маска на пластине, обеспечивая резкое разграничение между светлыми и темными участками проецируемого изображения. Для демонстрации возможностей процесса специалисты фирмы GE изготовили пробные структуры и схемы с> минимальным размером элементов от 2 до 0,4 мкм. Согласно заявлению представителей фирмы, во всех случаях было продемонстрировано значительное увеличение четкости воспроизведения элементов схем. Материал для усиления контрастности, получивший обозначение CEM-388, поставляется на рынок отделением Silicone Products (Уотерфорд, шт.Нью-Йорк) фирмы GE. [p.144].

Джерри Лаймен

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 57, No.13 (694), 1984г - пер. с англ. М.: Мир, 1984, стр.63

Electronics Vol.57 No.13 June 28, 1984 A McGraw-Hill Publication

Раздел: МЕТОДЫ, СХЕМЫ, АППАРАТУРА

Тема:     В блокнот инженера





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/GeneralElectric/D19840628Elc034.shtml