Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/Hitachi/Z19800605Elc123.shtml

Новая литографическая установка

Фирме Hitachi Ltd., совсем недавно занявшейся изготовлением литографического оборудования для обработки кремниевых пластин, не придется убеждать заказчиков, что она уверена в качестве своей продукции: несколько экземпляров проекционной установки RA-101 для экспонирования кремниевых пластин с уменьшением 10:1, разработанной в ее центральной исследовательской лаборатории, переданы для эксплуатации на один из собственных заводов фирмы. Для новой установки гарантируется минимальная ширина штриха 1,5 мкм при шаге 3 мкм, но, если экспонируемая поверхность очень ровная, установка может обеспечить толщину штриха 1 мкм при шаге 3 мкм. Абсолютная погрешность и воспроизводимость позиционирования не хуже ±0,2 мкм. Максимальный размер кристалла, который может быть экспонирован за один проход, равен 10*10 мм2. В стандартный комплект системы входит загрузчик-разгрузчик для пластин диаметром 76 мм; за добавочную плату поставляются загрузчики-разгрузчики для пластин больших размеров. Цена на территории Японии составит около 680 тыс. долл. [р.63].

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 53, No.13 (591), 1980г - пер. с англ. М.: Мир, 1980, стр.113

Electronics Vol.53 No.13 June 05, 1980 A McGraw-Hill Publication

Раздел: ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ

Тема:     Япония





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/Hitachi/Z19800605Elc123.shtml