Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/NEC/Z19890203Elc080.shtml

Специалисты компании NEC решили проблему вредных примесных частиц в процессе изготовления ИС

Проблема устранения вредных примесных частиц в ходе технологических процессов в вакууме, таких, как выпаривание металлов или кремниевая молекулярно-лучевая эпитаксия, длительное время не поддавалась решению. Если бы ее удалось устранить, то можно было бы рассчитывать на существенное повышение выхода годных при производстве ИС с высокой степенью интеграции. И вот недавно специалистам из лаборатории фундаментальных исследований компании NEC Corp. (Кавасаки) удалось обнаружить, что частицы нежелательной примеси — гранулы поликристаллического кремния размером от 1 до 10 мкм, которые прилипают к подложкам и препятствуют росту эпитаксиального кремния,— имеют в основном отрицательный электрический заряд. Поскольку молекулы кремния практически все лишены заряда, то, используя отклоняющий электрод с отрицательным напряжением свыше 6 кВ или с положительным напряжением свыше 4 кВ, можно избавиться от всех нежелательных кремниевых частиц. При этом никакого воздействия на скорость роста эпитаксиального слоя кремния оказывается не будет [No.16, р.65].

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 61, No.20 (799), 1988г - пер. с англ. М.: Мир, 1988, стр.138

Electronics Vol.61 No.16 October, 1988 VNU Business Publication Inc.

Раздел: ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ

Тема:     Страны тихоокеанского рынка





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/NEC/Z19890203Elc080.shtml