Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/Perkin-Elmer/Y19790426Elc102.shtml

Установка проекционной фотолитографии

Фирма Perkin-Elmer разработала новую установку типа Micralign модели 200 (см. стр. 4 обложки). Эта установка представляет собой наиболее экономичную из известных в настоящее время систем для проекционной фотолитографии и совмещения. Она обеспечивает в условиях производства получение элементов размерами 2 мкм и менее. Увеличение системы и характерные для нее искажения обеспечивают точность совмещения не хуже 0,25 мкм и равномерность освещения до 4%. Дополнительно могут поставляться автоматическое устройство для загрузки пластин и автоматическое, устройство совмещения с точностью до 0,25 мкм. Вскоре будет обеспечиваться поставка оптических систем с покрытиями, позволяющими работать с дальним ультрафиолетом, это дает возможность получать еще меньшие размеры элементов.

В сравнении с установками для проекционной фотолитографии и совмещения других ведущих фирм система Micralign модели 200 обладает весьма высокими характеристиками, а стоит при этом почти в два раза меньше. Она занимает около 25% площади и обеспечивает более высокую производительность при любом размере кристаллов.

Высокие параметры установки Micralign модели 200 достигнуты в результате введения ряда существенных усовершенствований.

Улучшение конструкции оптической системы. Фирма Perkin-Elmer улучшила конструкцию оптической системы, обеспечив увеличение разрешающей способности и глубины фокусировки. Допуски при изготовлении оптической системы ужестчены в пять раз, что дало повышение точности совмещения к уменьшение разброса между отдельными экземплярами установок.

Резкое уменьшение вибраций. Вибрации в установке сведены к минимуму. В ее конструкции Micralign модели 200 использованы две рамы, одна из которых помещается внутри другой. Внутренняя рама, на которой укреплена проекционная оптика и привод каретки, полностью изолирована от наружной.

Фирма использовала превосходную конструкцию привода каретки с линейным электродвигателем и воздушной подушкой. Этот привод не только позволяет избавиться от вибраций. Благодаря воздушной подушке отсутствуют какие-либо механические контакты и износ. Ввиду этого привод каретки имеет неограниченный срок службы.

Встроенный контроль окружающих условий. Система Micralign модели 200 обеспечена встроенной камерой, создающей фиксированные окружающие условия. Наружный воздух, подаваемый пользователем или поступающий из поставляемой фирмой Perkin-Elmer по дополнительному заказу системы кондиционирования, продувается через фильтр НЕРА и нагревательные элементы, встроенные в верхнюю крышку установки Micralign модели 200. Температура оркужающей среды по классу 100 с избыточным давлением поддерживается с погрешностью менее 0,55°С. Установка содержит отдельный регулятор температуры для шаблона, устраняющий отклонения размеров.

Отсутствие загрязнения шаблонов. Для установки Micralign модели 200 разработан закрытый держатель шаблонов. Шаблон помещается в предназначенное для него отделение этого специального держателя, который затем герметично закрывается. При вставлении держателя с шаблоном в установку защищающие шаблон платы автоматически убираются. После использования эти платы автоматически закрывают шаблон.

Высокие эксплуатационные качества. Фирма Perkin-Elmer, ведущий изготовитель проекционных установок совмещения, уже в течение шести лет выпускает оборудование, хорошо зарекомендовавшее себя в производстве, имеет превосходную учебную базу для подготовки операторов и систему эксплуатационного обслуживания [pp.22,23].

Perkin-Elmer Corp. Electro-Optical Div.,
50 Danbury Road, Wilton, CT 06897

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 52, No.09 (561), 1979г - пер. с англ. М.: Мир, 1979, стр.117

Electronics Vol.52 No.8 Aprilh 26, 1979 A. McGraw-Hill Publication

Раздел: РЕКЛАМНЫЕ СООБЩЕНИЯ

Тема:     Производство





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/Perkin-Elmer/Y19790426Elc102.shtml