Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/Perkin-Elmer/Y19860908Elc063.shtml

Установка электронолитографии компании Perkin—Elmer

Компания Perkin—Elmer Corp. (Норуолк, шт.Коннектикут) начала поставки установки электронно-лучевой литографии с непосредственным экспонированием Aeble 150, позволяющей получать ширину линий 0,5 мкм. Высокая производительность установки — свыше 20 100-мм пластин в час — достигается за счет двух факторов: векторного сканирования с переменным сечением луча, позволяющего быстро производить специализацию схем, и использования метода непосредственного экспонирования, сокращающего затраты времени на перемещение столика. Установка позволяет также экспонировать пластины диаметром 125 и 150 мм, что еще более повышает ее производительность.

Первые две установки такого типа используются для изготовления кристаллов по программе ССИС. Между тем компания Perkin—Elmer старается модифицировать установку таким образом, чтобы ее можно было использовать в производстве ИС для коммерческой аппаратуры.

Perkin—Elmer занимается также расширением своих серий более традиционного технологического оборудования. Среди ее новых моделей — установки совмещения, пошагового экспонирования и сухого травления.

Серия установок проекционной литографии высшего класса Micralign 600HT обеспечивает точность совмещения рисунков, полученных на различных установках, ±0,35 мкм и разрешение от 0,9 до 1,25 мкм. Производительность составляет 100 150-мм пластин или 120 100-мм или 125-мм пластин в час. Младшая модель — Micralign 600 Delta — обеспечивает точность совмещения ±0,5 мкм и разрешение 1,5 мкм при производительности 100 100-мм или 125-мм пластин или 85 150-мм пластин в час. Установка может быть полностью преобразована пользователем в старшую модель HT.

Установка пошагового экспонирования серии SRA-9000 обеспечивает субмикронное разрешение и производительность до 60 пластин в час с учетом затрат времени на совмещение и выравнивание в каждом поле экспонирования, при условии что применяется объектив с числовой апертурой 0,35. При использовании объектива с числовой апертурой 0,28 производительность составляет 70 пластин в час, а рабочее разрешение — от 1,1 до 1,25 мкм. Точность совмещения составляет ±0,15 мкм при пошаговом экспонировании и ±0,35 мкм при экспонировании всего поля пластины с использованием приобретаемой дополнительно лазерной оптики.

Компания предлагает также установку сухого травления Omni-Etch 20000, рассчитанную на 150-мм пластины и имеющую производительность от 40 до 80 пластин в час. Специальное манипуляторное устройство позволяет свести к минимуму загрязнение пластин посторонними частицами и делает установку пригодной для работы в чистом помещении класса 10.

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 59, No.10 (743), 1986г - пер. с англ. М.: Мир, 1986, стр.114

Electronics Vol.59 No.19 May 12, 1986 A McGraw-Hill Publication

Electronics Vol.59 No.20 May 19, 1986 A McGraw-Hill Publication

Раздел: РЕКЛАМНЫЕ СООБЩЕНИЯ

Тема:     Специальный информационно-рекламный раздел





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/Perkin-Elmer/Y19860908Elc063.shtml