Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/Perkin-Elmer/Z19860224Elc090.shtml

Электронно-лучевая установка, осуществляющая непосредственную запись на поверхность пластин с рекордной скоростью

Фирма Perkin-Elmer Corp. (Норуолк, шт.Коннектикут) намерена выпустить в продажу свою электронно-лучевую установку, которая, по оценке одного из старших научных руководителей компании Hughes Aircraft Co., имеет наивысшую производительность в мире. Установка разработана совместно фирмой Perkin-Elmer и исследовательской лабораторией компании Hughes (Малибу, шт.Калифорния), она обрабатывает от 10 до 12 102-мм пластин в час и может формировать элементы изображения размером до 0,5 мкм. Разработка проводилась по заказу министерства обороны США в рамках выполнения первой фазы программы создания сверхскоростных ИС. Целью разработки было достижение производительности 4 пластины в час. Существенно более высокую производительность удалось получить в основном путем использования пучка с изменяемой формой поперечного сечения, которым заполнялись элементы изображения треугольной, прямоугольной или квадратной формы. Поставку первой коммерческой системы выполнит компания Hughes [No.8, p.13].

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 59, No.04 (737), 1986г - пер. с англ. М.: Мир, 1986, стр.121

Electronics Vol.59 No.07 February 17, 1986 A McGraw-Hill Publication

Electronics Vol.59 No.08 February 24, 1986 A McGraw-Hill Publication

Раздел: ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ

Тема:     США





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/Perkin-Elmer/Z19860224Elc090.shtml