Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/Philips/S19791206Elc081.shtml

Электронно-лучевая установка экспонирует рисунки площадью 32 см2

Установка Beamwriter фирмы Philips, о которой недавно сообщалось1{Электроника, 1979, №22, «Последние новости»}, представляет собой электронно-лучевую систему с векторным сканированием. Она предназначена для высокопроизводственного изготовления прецизионных шаблонов и сеток с площадью рисунка до 32 см2. Плотность тока в луче 100 А/см2, диаметр сфокусированного пятна 0,025 мкм. Минимальная ширина «вычерчиваемых» линий 0,2 мкм, а максимальная — 1,0 мкм.

В системе использованы четыре детектора обратного рассеяния, благодаря чему и типичная «шаговая» погрешность (между соседними полями сканирования), и типичная ошибка наложения (между смежными слоями) составляют всего ±0,1 мкм. Варьируя тактовую частоту, можно изменять скорость сканирования (до 10 МГц) и, таким образом, исключить негативные явления, возникающие при вычерчивании близко расположенных на рисунке линий. Система сконструирована так, что привод и соединительные провода расположены в вакуумированной рабочей камере. Это уменьшает вероятность появления усталостных разрушений, типичных для конструкций с сильфонами. В вакууме размещены также интерферометры, позволяющие учитывать и компенсировать различия в толщине подложек. В системе используется сухая смазка, поэтому как износ шарикоподшипников, так и риск загрязнения электронно-оптической колонки минимальны. Вакуумные клапаны и автоматические устройства регулировки предварительной откачки устроены так, что и катод, и подложку можно сменить за очень короткое время. Насос усовершенствованной конструкции позволяет обойтись без применения ловушек, охлаждаемых жидким азотом.

Поставки установки начнутся через 5—6 месяцев. Полный комплект со всеми дополнительными устройствами будет стоить примерно 2 млн. долл. [pp. 228, 231].

Philips Electronic Instruments Inc.,
85 McKee Dr., Mahwah, N.J. 07430

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 52, No.25 (577), 1979г - пер. с англ. М.: Мир, 1979, стр.106

Electronics Vol.52 No.25 December 06, 1979 A McGraw-Hill Publication

Раздел: КОМПОНЕНТЫ, ПРИБОРЫ, СИСТЕМЫ

Тема:     Конструирование и производство





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/Philips/S19791206Elc081.shtml