Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/RCA/A19830519Elc011.shtml

Промышленный выпуск машин для электроннолучевой литографии задерживается

Фирма RCA Corp. (Бедфорд, шт.Массачусетс), учитывая вялый спрос, решила пересмотреть свои планы и отсрочить начало промышленного выпуска своих столь давно ожидаемых установок электронно-лучевой литографии. Как отметил технический директор Гриффит Л. Ресор, фирма могла бы приступить к поставкам уже в 1984г., но «что-то не видно, чтобы кто-нибудь проявил реальную заинтересованность в их получении». Ресор добавил, что его фирма, как и другие фирмы отрасли, первоначально полагала, что электронно-лучевые установки могут потребоваться для изготовления ЗУПВ емкостью 64К и 256К, имеющих особо тонкую геометрию. Однако теперь руководство фирмы убедилось, что оптические установки уже получили хороший прием на рынке сбыта и, так сказать, обошли электронно-лучевую технологию. К настоящему времени, отмечает Ресор, наиболее важным применением последней было изготовление фотошаблонов [р.54].

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 56, No.10 (666), 1983г - пер. с англ. М.: Мир, 1983, стр.13

Electronics Vol.56 No.10 May 19, 1983 A McGraw-Hill Publication

Раздел: ОБОЗРЕНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

Тема:     В несколько строк





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/RCA/A19830519Elc011.shtml