Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/Siemens/D19870910Elc034.shtml

Электронно-лучевой тестер СБИС

Джон Гош (John Gosch)
Редакция Electronics

John Gosch. Siemens' E-beam tester gets on track, p.89.

Разработка электронно-лучевых тестеров второго поколения, осуществляемая западногерманской фирмой Siemens AG, запаздывает более, чем на год, однако исследователи утверждают, что с самим тестером нет никаких проблем и что его экспериментальный вариант работает хорошо. Задержка была вызвана поставщиком, который не передал фирме необходимое комплектующее изделие. Был найден другой поставщик, и теперь фирма Siemens ожидает, что во второй половине 1987г. изготовит вариант тестера, пригодный для практического применения.

В марте 1986г. исследователи, работающие в центральной исследовательской лаборатории фирмы Siemens, думали, что они уже приблизились к созданию практического варианта системы, предназначенной для испытания асинхронных СБИС, несущих высокочастотные сигналы. На своей лабораторной установке они уже доказали, что для исследования параметров сигналов в действующих СБИС могут быть использованы различные разрабатываемые ими методы: частотное слежение, слежение за логическими состояниями и частотное картографирование2{Электроника, 1986, №6, с.68}.

Однако для создания работающей системы исследователям был нужен сканирующий электронный микроскоп. Он был заказан одной западноевропейской оптической фирме, но та не смогла поставить его в срок. Об этом сообщает Ганс-Детлеф Бруст, сотрудник исследовательской группы. У другой фирмы был заказан еще один микроскоп, но он должен быть специально приспособлен для использования в разрабатываемой системе.

Пока исследователи из фирмы Siemens ожидают прибытия данного микроскопа, они занимаются доводкой своих методов испытаний. Метод слежения за логическими состояниями был усовершенствован настолько, что в настоящее время позволяет проверять 10-МГц схемы (год назад могли проверяться схемы, работавшие на частотах до 5 МГц). Такое увеличение частотного предела, по словам Бруста, было достигнуто благодаря использованию для корреляции сигналов самого электронного луча. Он ожидает, что со временем метод позволит проверять схемы, работающие на частотах до 250 МГц.

Исследователям удалось также в пять раз уменьшить время, необходимое для отслеживания сигнала в СБИС. Это было достигнуто благодаря модулированию скорости сканирования электронного луча, так что теперь луч сканирует медленно те участки схемы, где ожидается сигнал, и быстро проходит над теми участками, где прохождения сигналов не предполагается.

Лабораторный вариант тестера используется фирмой Siemens также для работ по созданию ЗУ с высокой плотностью упаковки и сложных логических ИС. Как только усовершенствованная система начнет работать, фирма сможет продать лицензию на выпуск и сбыт таких систем другой фирме.

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 60, No.10 (768), 1987г - пер. с англ. М.: Мир, 1987, стр.48

Electronics Vol.60 No.10 May 14, 1987 A McGraw-Hill Publication

John Gosch. Siemens' E-beam tester gets on track, p.89.

Раздел: МЕТОДЫ, СХЕМЫ, АППАРАТУРА

Тема:     Контрольно-измерительные приборы





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/Siemens/D19870910Elc034.shtml