Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/TI/M19840112Elc064.shtml

Проблемы с технолгией Impact

На пути скачков в технологии изготовления полупроводниковых приборов, сулящих значительное повышение быстродействия и мощности, часто возникают технологические барьеры. Именно это произошло с разработанной фирмой Texas Instruments новейшей технологией изготовления биполярных приборов, которую эта фирма предназначала для своих наиболее перспективных БИС с барьерами Шотки1{Электроника, 1983, №2, с.5}.

Эта технология, получившая название Impact (implanted advanced composed technology — перспективная комбинированная технология с использованием ионного легирования), предназначалась для изготовления субнаносекундных приборов с двухмикронными размерами элементов. Ее характерной особенностью являлась полная изоляция элементов с помощью двуокиси кремния. Вскоре после того, как осенью 1983г. эта технология была передана в производство для использования при изготовлении модульного процессора AS888 на 8-разрядных секциях, фирма обнаружила, что вертикальные боковые стенки металлизированных дорожек, полученных с помощью используемого в технологии Impact реактивного ионного травления, нуждаются в дополнительной планаризации для сглаживания слоев, расположенных между металлическими полосками, выполненными с шагом 2 мкм.

Причина, по которой потребовалась доработка технологии, заключалась в том, что выход годных оказался ниже ожидаемого из-за образования щелей в слое диэлектрика, расположенном между слоями металлизации. Эти щели препятствовали нанесению фоторезиста в процессе производства. Недостатки в конструкции процессоров AS888 были также устранены, и теперь фирма TI надеется изготовить их первые образцы в начале 1984г., на несколько месяцев позднее первоначального плана.

Дж. Роберт Лайнбек

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 57, No.01 (682), 1984г - пер. с англ. М.: Мир, 1984, стр.112

Electronics Vol.57 No.01 January 12, 1984 A McGraw-Hill Publication

Раздел: СООБЩЕНИЯ

Тема:     По следам новостей





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/TI/M19840112Elc064.shtml