Правильная ссылка на эту страницу
http://az-design.ru/Support/HardWare/TI/Z19890203Elc068.shtml

Фирма TI союзник компании Spire в работах по изготовлению пластин по технологии Simox

Складывается впечатление, что для изготовителей полупроводниковых приборов, которые хотят получить пластины, содержащие слой кремний-на-изоляторе для изоляции элементов, вскоре наступят хорошие времена. Дело в том, что фирма Texas Instruments Inc. (Даллас, шт.Техас) и компания Spire Corp. (Бедфорд, шт.Массачусетс), являющаяся поставщиком полупроводниковых пластин специального назначения, заключили соглашение, по которому фирма TI будет передавать своему партнеру 102-мм пластины, изготавливаемые по технологии Simox, а Spire будет продавать их изготовителям приборов. Кроме того, по желанию заказчика компания Spire будет отжигать пластины и наносить эпитаксиальный слой. SIMOX-технология предполагает создание методом ионной имплантации изолирующего слоя диоксида кремния между объемным кремнием и осаждаемым позже эпитаксиальным слоем, в котором создаются активные элементы. Наличие изолятора обеспечивает повышение радиационной стойкости готовых изделий, поскольку не позволяет электронам перемещаться между подложкой и эпитаксиальным слоем. Кроме того, диоксид кремния препятствует возникновению эффекта защелкивания между соседними КМОП-транзисторами, благодаря чему удается повысить плотность размещения элементов. Все дело в том, что до недавнего времени пластины со структурой кремний-на-изоляторе было не так-то просто приобрести. Однако теперь благодаря соглашению между фирмами TI и Spire, а также в связи с сообщениями о том, что аналогичные пластины, но по другой технологии (см. в этом номере материал «Новые технологии ИС со структурой кремний на диэлектрике») начинает выпускать фирма Kopin Corp. (Тонтон, шт.Массачусетс), положение может измениться [No.16, р.18].

Выходные данные:

Журнал "Электроника" том 61, No.20 (799), 1988г - пер. с англ. М.: Мир, 1988, стр.134

Electronics Vol.61 No.16 October, 1988 VNU Business Publication Inc.

Раздел: ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ

Тема:     США





Дата последнего изменения:
Thursday, 21-Aug-2014 09:10:44 MSK


Постоянный адрес статьи:
http://az-design.ru/Support/HardWare/TI/Z19890203Elc068.shtml